Вафельний графітовий носій
Jincheng Graphite, як професійний виробник пластинчастих графітових носіїв, забезпечує високо-чисті та-стабільні пластинчасті графітові носії. Він спеціально розроблений для високо-температурних процесів у виробництві напівпровідників, має чудову теплову однорідність, стійкість до корозії та тривалий термін служби. Він широко використовується в точних областях, таких як обробка пластин і літографія.
Основні сильні сторони
Нано-графітова підкладка
Завдяки -графіту високої чистоти (із вмістом вуглецю 99,99%) і металу теплопровідність досягає до 300 Вт/м·К, забезпечуючи рівномірну температуру на поверхні пластини та зменшуючи ризик викривлення, спричиненого термічним навантаженням.
Сумісність із вакуумним середовищем
Витримує екстремальний температурний діапазон від -200 градусів до 3000 градусів, підходить для вакуумних процесів, таких як літографія та травлення, і має чудову стійкість до корозії, сумісний з хімічними газами, такими як водень і азот.
Індивідуальна адаптивність
Підтримка різних розмірів пластин (наприклад, 12-дюймових і 8-дюймових) і спеціальних процесів обробки поверхні, що відповідають точним вимогам для різних сценаріїв виробництва напівпровідників.
Сценарій застосування
Процес вафельної літографії
Під час нанесення фоторезисту графітовий носій забезпечує стабільне середовище розподілу тепла, зменшуючи проблеми деформації пластини, викликані різницею температур.
Обладнання для високотемпературного травлення-
Під час плазмового травлення висока теплопровідність носія може швидко розсіювати тепло, захищаючи поверхню пластини від пошкоджень, спричинених високими температурами.
Система вакуумного осадження
Сумісний із CVD, PVD та іншими процесами, гарантуючи, що пластина зберігає площинність під час високо-температурного осадження та покращує коефіцієнт виходу.
Технічні характеристики
| Теплопровідність | 250 - 400 Вт/м·K (налаштовується) |
| Діапазон робочих температур | -200 градусів до 3000 градусів |
| Сумісні гази | Водень, азот, аргон тощо (напівпровідникові технологічні гази) |
| Обробка поверхні | Плазмове полірування / покриття (опціонально) |
Jincheng Graphite Technology Assurance
Базуючись на 20-річному дослідженні та розробці графітового матеріалу, Jincheng Graphite використовує запатентовану вакуумну композитну технологію та технологію наповнення графітом нанометрового-класу, щоб забезпечити довгострокову-стабільність носія в екстремальних умовах. Продукт пройшов сертифікацію системи якості ISO 9001 та аерокосмічні стандарти AS9100, що відповідає суворим вимогам виробництва напівпровідників щодо управління температурою.
Зобов'язання щодо співпраці
Jincheng Graphite пропонує повний-налаштований сервіс від проектування, виробництва до після-продажу, підтримуючи дрібно-пробне виробництво та велико-масштабне налаштування, забезпечуючи короткий цикл доставки та контрольовані витрати. Завдяки глобальній логістичній мережі та місцевим службам обслуговування, компанія надає клієнтам ефективні та надійні рішення для пластинчастого графітового носія, допомагаючи оновити процеси виробництва напівпровідників.
Популярні Мітки: графіт для виробництва пластин, Китай виробники графіту для виробництва пластин, постачальники, фабрика
