Графітові електроди для виготовлення інтегральних схем
Jincheng Graphite, як професійний виробник графітової продукції, надає графітові електроди з високою провідністю та високою термічною стабільністю для виробництва інтегральних схем. Ці електроди спеціально розроблені для ключових процесів, таких як літографія, травлення та осадження, мають високу точність обробки, тривалий термін служби та низький термічний стрес. Вони широко використовуються у-виробництві високоякісних напівпровідників.
Основна перевага
Висока теплопровідність і термостійкість
Використовуючи високо{0}}графітові підкладки та поєднуючи нанорозмірну технологію обробки поверхні, провідність досягає більше або дорівнює 10^5 См/м, а коефіцієнт теплового розширення менше або дорівнює 3,5×10⁻⁶/градус. Це забезпечує структурну стабільність під час високо-температурних процесів і запобігає термічній деформації пластини.
Сумісність з точною обробкою
Завдяки лазерному різанню, плазмовому травленню тощо він підтримує електроди товщиною від 0,05 до 3 мм і спеціальну складну геометрію, що підходить для обладнання для обробки пластин для передових процесів 5 нм і нижче, що відповідає вимогам високо-точного вирівнювання.
Корозійна стійкість і зносостійкість
Поверхня проходить хімічну пасивацію. Він проходить випробування на сильну кислотну корозію з HF, HNO₃ тощо та може витримувати температуру до 1500 градусів або вище, що значно подовжує термін служби електродів і зменшує ризик перерв у процесі.
Сценарій застосування
Графітові електроди, які використовуються у виробництві інтегральних схем, широко застосовуються в ключових процесах, таких як плазмове травлення (для обробки глибоких суб{0}}мікронних каналів), хімічне осадження з парової фази (CVD) і фізичне осадження з парової фази (PVD). Їхня низька термічна напруга може ефективно запобігати дефектам, спричиненим нерівномірним тепловим розширенням пластин, збільшуючи вихід високоякісних-чіпів до понад 99,8%, допомагаючи досягти мініатюризації та високо-щільної інтеграції процесів виробництва мікросхем.
Технічні характеристики
| Електропровідність | Більше або дорівнює 10^5 См/м (за кімнатної температури) |
| Коефіцієнт теплового розширення | Менше або дорівнює 3,5 × 10⁻⁶ / градус |
| Шорсткість поверхні | Ra Менше або дорівнює 0,2 мкм |
| Стійкість до корозії | Пройшов випробування в сильних кислотах, сильних лугах і плазмових середовищах |
| Механічна міцність | Міцність на стиск Більше або дорівнює 120 МПа |
Гарантія якості Jincheng Graphite
Компанія Jincheng Graphite вже 18 років займається виробництвом графітової продукції. Вона володіє власними незалежними правами інтелектуальної власності на-технологію низькотемпературного спікання та сертифікацію системи управління якістю ISO9001. Він суворо контролює весь процес від очищення сировини (чистота більше або дорівнює 99,99%), формування та пресування до високо-температурного спікання, щоб гарантувати, що продукти відповідають суворим вимогам напівпровідникової промисловості щодо чистоти (клас ISO 4), термічної стабільності (±0,5 градуса) і площинності поверхні (менше або дорівнює 0,1 мкм).
Зобов'язання щодо співпраці
Jincheng Graphite пропонує безкоштовне тестування зразків, 72-годинну технічну відповідь і підтримку невеликого-пробного виробництва. Він може налаштувати розміри електродів, параметри провідності та плани обробки поверхні відповідно до вимог клієнта. Вона прагне надавати високоефективні та надійні рішення для графітових електродів для глобальних напівпровідникових підприємств. Завдяки професійним технологіям, швидкій доставці та безперервним інноваціям компанія стала основним партнером у сфері керування температурою та точної обробки у виробництві інтегральних схем.
Популярні Мітки: графітові електроди для виготовлення мікросхем, Китайські графітові електроди для виготовлення мікросхем, виробники, постачальники, фабрика
