Гільзи графітові для напівпровідникової апаратури
Jincheng Graphite, як професійний виробник графітових оболонок, надає стійкі до високих-температур і високу теплопровідність графітові обойми для напівпровідникового обладнання. Ці рукави спеціально розроблені для високотемпературних реакційних камер і вакуумного обладнання, мають високу термічну стабільність, стійкість до корозії та тривалий термін служби. Вони широко використовуються у виробництві напівпровідників.
Основна перевага
Стійкість до екстремальних температур
Завдяки використанню графіту високої чистоти (вміст вуглецю більше або дорівнює 99,99%) і керамічного композитного процесу, діапазон температурної стійкості становить від -200 градусів до 3000 градусів, що підходить для високотемпературних реакційних середовищ у напівпровідниковому обладнанні.
Висока теплопровідність
Завдяки поєднанню багато-шарової графітової структури та вакуумної камери термічний опір зменшується до 0,05 К/Вт, забезпечуючи рівномірний розподіл високотемпературних газів і уникаючи локального перегріву, який спричиняє деформацію матеріалу.
Сильна хімічна стабільність
Відмінна стійкість до корозії, здатна стабільно працювати в напівпровідникових технологічних газах, таких як водень і азот, протягом тривалого часу, зменшуючи частоту обслуговування обладнання.
Сценарій застосування
Обладнання високо{0}}реакційної камери
Використовується в процесах виробництва напівпровідників, таких як CVD і PVD, графітовий рукав може рівномірно проводити тепло, підвищуючи стабільність процесу та продуктивність.
Система підігріву вакуумного середовища
Під час процесів сушіння та відпалу напівпровідникових пластин графітовий рукав забезпечує рівномірний розподіл тепла, знижуючи ризик теплового стресу.
Високо{0}}лазерне обладнання
Сумісний із високо{0}}енергетичними лазерними резонаторами, він швидко проводить тепло через графітову оболонку, щоб забезпечити безпечну роботу обладнання.
Технічні параметри
| Теплопровідність | 250 - 400 Вт/м·K (налаштовується відповідно до вимог процесу) |
| Діапазон робочих температур | -200 градусів до 3000 градусів |
| Відповідне газове середовище | водень, азот, аргон та ін. напівпровідникові технологічні гази |
| Обробка поверхні | плазмове полірування / покриття (налаштовується) |
Гарантія якості Jincheng Graphite
Базуючись на 20-річному досвіді дослідження графітових матеріалів, Jincheng Graphite використовує запатентовану технологію вакуумного композиту та технологію наповнення графітом нанометрового -класу, щоб забезпечити стабільність графітових гільз за екстремальних умов. Сертифікована системою якості ISO 9001 і аерокосмічними стандартами AS9100, вона відповідає вимогам високо-надійних сценаріїв застосування.
Зобов'язання щодо співпраці
Jincheng Graphite пропонує повністю-налаштовані послуги від проектування, виробництва до після-продажу, підтримуючи пробне-виробництво невеликих-серій і масштабне-налаштування. Це забезпечує короткий цикл доставки та контрольовані витрати. Завдяки глобальній логістичній мережі та місцевим командам обслуговування він надає ефективні та стабільні рішення для графітових рукавів для напівпровідникового обладнання, допомагаючи досягти довгострокової-стабільної роботи високо-точних процесів.
Популярні Мітки: графітові втулки для напівпровідникового обладнання, китайські графітові втулки для напівпровідникового обладнання виробники, постачальники, фабрика
