Графітові електроди UHP для вакуумних печей – це електропровідні нагрівальні елементи високого-класу, виготовлені з високоякісної-голчастої-техніки за допомогою процесу ізостатичного пресування та піддані над-високотемпературній графітизації та обробці вакуумного очищення вище 3000 градусів. Вони спеціально розроблені для систем опалення у вакуумі/інертній атмосфері, що працюють в умовах над-надвисокого тиску (щільність струму більше або дорівнює 30 А/см²).
Порівняно зі звичайними графітовими електродами для вакуумних печей, цей продукт досягає ідеального балансу над-питомого опору та надзвичайно високої механічної міцності та підходить для екстремальних умов роботи, таких як дугові вакуумні печі над-дугового тиску, вакуумні-автоматичні печі та вакуумні печі для плавлення електронним променем. Він широко використовується в галузях, що вимагають надзвичайної щільності потужності та чистоти, таких як підготовка аерокосмічних тугоплавких металів, очищення матеріалів для ядерної промисловості, вирощування монокристалів напівпровідників і плавлення спеціальних сплавів під ультра-високим тиском.
Над-вакуумно-дугове плавлення під високим тиском (основне застосування для аерокосмічних тугоплавких металів)
Для над-дугового плавлення у вакуумі надвисокого тиску тугоплавких металів, таких як титан, цирконій, вольфрам і молібден, а також їхніх сплавів графітові електроди UHP забезпечують стабільне нагрівання з температурою в діапазоні від 2500 до 3000 градусів. Щільність струму може досягати 35 А/см² (порівняно лише з 20 А/см² для звичайних графітових електродів), а ефективність плавлення збільшується на 50%. Застосовується тривимірна технологія ізостатичного пресування, що забезпечує однорідну та щільну внутрішню структуру електрода без будь-яких внутрішніх дефектів, що дозволяє уникнути пошкодження електрода, спричиненого локальним розрядом під високим{9}}тиском дуги.
Інноваційна конструкція градієнта опору гарантує, що питомий опір серцевини електрода становить лише 5 мкОм·м при 1000 градусів, а градієнт питомого опору зовнішнього шару збільшується на 5%, досягаючи рівномірного розподілу струму та точного контролю теплового поля. Чистота металевого матеріалу підвищена до 99,9999%, що відповідає вимогам ключових матеріалів, таких як лопаті аерокосмічних двигунів і компоненти ядерних реакторів.
Напівпровідниковий моно{0}}кристал кремнію ультра-зонне очищення під високим тиском («революція чистоти» в промисловості чіпів)
Обслуговує ультра-вакуумну зонну очистку плавлення для однокристалічних кремнієвих пластин розміром 12-дюймів і більше-. Графітові електроди UHP мають над-питомий опір (при кімнатній температурі менше або дорівнює 12 мкОм・м, при 1000 градусів менше або дорівнює 5 мкОм·м) і нульову магнітну проникність, уникаючи електромагнітних перешкод, які впливають на ріст кристалів кремнію. Індивідуальна структура порожнистого електрода з каналами водяного охолодження може підтримувати стабільну температуру електрода на рівні нижче 150 градусів при 3000 градусах, з термічною деформацією менше 0,02 мм, забезпечуючи відхилення діаметра кристала кремнію менше ±0,1 мм.
Надзвичайно низький рівень виділення газу у вакуумному середовищі (＜3×10⁻⁹ Па・м³/с) гарантує, що рівень вакууму всередині печі буде стабільним на рівні 10⁻⁷ Па, уникаючи забруднення пластин вуглеводнями та металевими домішками. Вихід напівпровідникових пристроїв збільшено до понад 99,5%, що відповідає вимогам виробництва передових технологічних мікросхем 7 нм і нижче.
Вакуумна термообробка над-високого тиску ядерних промислових матеріалів (для забезпечення безпеки)
Вакуумна обробка над-високого тиску застосовується до матеріалів ядерного-класу, таких як керуючі стрижні та оболонки палива ядерних реакторів. Графітові електроди UHP можуть витримувати надзвичайну щільність струму 40 А/см², забезпечуючи контрольований температурний діапазон 1800-2200 градусів, з однорідністю температури ±3 градуси, забезпечуючи незмінні механічні властивості та стійкість до корозії ядерних матеріалів. Застосовується спеціальний процес видалення бору, при якому вміст бору в електродах становить менше або дорівнює 0,1 ppm, що дозволяє уникнути змін у поперечному перерізі поглинання нейтронів ядерними матеріалами та забезпечити безпеку роботи ядерного реактора.
Надсильна радіаційна стійкість. Після впливу 10⁸ Гр гамма-променів швидкість зміни питомого опору становить менше 2%, а ступінь збереження механічної міцності становить понад 95%. Він підходить для суворого радіаційного середовища ядерної промисловості, має термін служби до 1200 циклів печі, що знижує вартість виробництва ядерних матеріалів.
Основна продуктивність і характеристики продукту
Потрійне з’єднувальне ущільнення, надійне в екстремальних умовах: потрійне з’єднання різьба + конічна поверхня + металеве ущільнювальне кільце забезпечує контактний опір менше або дорівнює 3 мкОм, а ефективність вакуумного ущільнення досягає рівня 10⁻⁸ Па. Він може витримувати 500 кН осьового тиску та підходить для умов над-надвисокого тиску.
Захист композитного покриття, тривалий термін служби: нанокомпозитне покриття SiC + TiN підвищує стійкість до окислення на 80%. Швидкість витрати електродів у вакуумному середовищі 2500 градусів становить менше 0,05 г/см²·год, а термін служби досягає 1000-1500 циклів печі.
Індивідуальний повний-процес обслуговування: діапазон діаметрів 50-1000 мм, довжина 200-5000 мм. Можуть бути налаштовані конструкції, такі як порожнисте водяне охолодження, секції спеціальної форми та спеціальні різьби. Пропонується комплексне рішення від вибору матеріалів до встановлення та введення в експлуатацію.
чому обирають нас
Пропонуйте рішення спеціально для замовників-потужних графітових електродів
чому обирають наші продукти
Професійне-виробництво на рівні вакууму: завдяки 12-річному досвіду виробництва графітових електродів для вакуумних печей ми маємо виробничу лінію очищення-з високою температурою 2800 градусів. Наші продукти пройшли міжнародні сертифікати, такі як SEMI F47 і ASTM C695, і підходять для над-середовища високого вакууму 10⁻⁶ Па.
Індивідуальні рішення: оснащені 5-осьовим обробним центром з ЧПК, ми можемо налаштувати спеціальні електроди, охолоджувальні конструкції та спеціальні методи з’єднання відповідно до проектних креслень печі клієнта, забезпечуючи комплексне обслуговування від проектування до встановлення.
Повний-контроль якості процесу: використовуючи імпортоване німецьке випробувальне обладнання, ми проводимо 12 всебічних перевірок кожної партії продукції, включаючи вміст вуглецю, аналіз домішок, швидкість вихлопу та питомий опір. Жодна бракована продукція не може залишати фабрику.
Гарантія подовженого терміну служби: завдяки структурі градієнтної щільності та технології покриття SiC термін служби нашої продукції на 50% довший за галузеві стандарти, що забезпечує 800-гарантію якості печі, зменшуючи частоту заміни та витрати для клієнтів.
Глобальне швидке реагування: у нас є закордонні склади в Німеччині, США та Японії. Стандартні специфікації надсилаються протягом 3 днів, а індивідуальні продукти — протягом 7–15 днів. 24-години. Технічна підтримка доступна для вирішення проблем із системою нагрівання у вакуумній печі.
| немає | Пункт перевірки | Стандартний графітовий електрод для вакуумної печі UHP | Метод випробування |
|---|---|---|---|
| 1 | Сировина | Преміальний нафтовий голчастий кокс + ізостатичне пресування | Аналіз вуглецевого матеріалу |
| 2 | Вміст фіксованого вуглецю | Більше або дорівнює 99,999% | Високотемпературний-метод спалювання |
| 3 | Насипна щільність | 1,90 – 1,93 г/см³ | Удосконалений принцип Архімеда |
| 4 | Загальний вміст домішок | Менше або дорівнює 3 ppm (Fe, Ni, Cu менше або дорівнює 0,5 ppm кожен; B Менше або дорівнює 0,1 ppm) | ICP-MS Ultra-trace Detection |
| 5 | Номінальна щільність струму | Більше або дорівнює 30 А/см² (макс. . 40 А/см²) | Тест-на щільність струму |
| 6 | Максимальна-тривала робоча температура | 2500 - 3000 градусів (вакуум) | Випробування на над-високу температурну стабільність |
| 7 | Швидкість дегазації (2500 градусів) | <5 × 10⁻⁹ Па·м³/с | Вимірювання виділення газів у над-високому вакуумі |
| 8 | Питомий електричний опір (RT) | Менше або дорівнює 12 мкОм·м | Чотири{0}}точковий метод точності зонда |
| 9 | Електричний опір (1000 градусів) | Менше або дорівнює 5 мкОм·м | Система тестування питомого опору-високої температури |
| 10 | Теплопровідність (25 градусів) | 160 – 180 W/(m·K) | Лазерний вимірювач теплопровідності |
| 11 | Коефіцієнт теплового розширення (25-1000 градусів) | 2,8 × 10⁻⁶/градус | Високоточний-дилатометр |
| 12 | Міцність на вигин (2500 градусів) | Більше або дорівнює 45 МПа | Механічне випробування при над-температурі |
| 13 | Міцність на стиск (2500 градусів) | Більше або дорівнює 120 МПа | Випробування на над-високу температуру стиснення |
| 14 | Поверхневе покриття | Композитне покриття Nano SiC + TiN (50-100 мкм) | Товщиномір покриття |
| 15 | Тип підключення | Різьба + конус + металеве ущільнювальне кільце (потрійний захист) | Вакуумна система виявлення витоків |
| 16 | Стандартний діапазон розмірів | Діаметр: 50-1000 мм; Довжина: 200-5000 мм | 3D координатно-вимірювальна машина |
| 17 | Термін служби (вакуумне середовище) | 1000 – 1500 циклів | Випробування над-вакуумної печі високої потужності |
| 18 | Вміст бору | Менше або дорівнює 0,1 ppm | Мас-спектрометрія з індуктивно зв'язаною плазмою |
Популярні Мітки: uhp графітові електроди для вакуумних печей, Китай uhp графітові електроди для вакуумних печей виробники, постачальники, фабрика
